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-RobotPhoenix-

Lobster系列晶圆机器人(单臂)

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Product Details

  • Description
  • 工作范围
  • 安装尺寸
  • 型号 Lobster200Z300S-T0X5-C Lobster185Z340D-T2X0-C
    类型 单臂 双臂
    适用规格 ~300 ~300
    额定负载 0.5KG 2KG
    自由度 3 4
    运动范围 升降轴(Z) 300mm 340mm
    回转轴(T) 340deg 340deg
    伸展轴(R) 400mm 360mm
    最大速度 升降轴(Z) 400mm/s 400mm/s
    回转轴(T) 260deg/sec 260deg/sec
    伸展轴(R) 1700mm/s 1500mm/s
    特点 1)适用大气环境
    2)机械臂长度:200mm
    3)全轴采用伺服电机,满足高速搬运需求
    4)MappingSensor:晶圆有无、叠片、斜片检测
    5)根据需求,可定制规格
    1)适用大气环境
    2)机械臂长度:135mm、185mm
    3)双臂结构,缩短更换晶圆的动作时间
    4)MappingSensor:晶圆有无、叠片、斜片检测
    5)根据需求,可定制规格
    重复精度 ±0.1mm ±0.1mm
    漏率 -- --
    洁净度 Class 100 Class 100
    接口 I/O接口 4路可配置数字输入
    4路可配置数字输出
    8路通用数字输入
    8路通用数字输出(可再扩展8路输入、8路输出)
    4路可配置数字输入
    4路可配置数字输出
    8路通用数字输入
    8路通用数字输出(可再扩展8路输入、8路输出)
    以太网 1个 1个
    USB 2个 2个
    RS232/RS485 1个 1个
    通讯协议 Modbus-RTU/TCP、Socket Modbus-RTU/TCP、Socket
    臂长R 200mm 185mm
    垂直行程Z 300mm 340mm
    机台高度H 620mm 605mm
    执行端长度L 按需 按需
    台面到行程下位高度h 128mm 250mm

     

     

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    Key words:
    • Lobster系列晶圆机器人(单臂)

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