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-RobotPhoenix-

Lobster系列晶圆机器人(单臂)


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Product Details

  • Description
  • parameter
  • *:关于线路、接口等选配需求,具体请咨询翼菲技术人员。

    11

    Key words:
    • Lobster系列晶圆机器人(单臂)
    • 产品参数

      • Type 单臂
      • Applicable specifications ~300
      • Rated load 0.5KG
      • Degree of freedom 3
      • 升降轴(Z)运动范围 300mm
      • 回转轴(T)运动范围 340deg
      • 伸展轴(R)运动范围 400mm
      • 升降轴(Z)最大速度 400mm/s
      • 回转轴(T)最大速度 260deg/sec
      • 伸展轴(R)最大速度 1700mm/s
      • 特点 1.适用大气环境 2.机械臂长度:200mm 3.全轴采用伺服电机,满足高速搬运需求 4.MappingSensor:晶圆有无、叠片、斜片检测 5.根据需求,可定制规格
      • 重复精度 ±0.1mm
      • 漏率 --
      • 洁净度 Class 100
      • I/O接口 4路可配置数字输入 4路可配置数字输出 8路通用数字输入 8路通用数字输出(可再扩展8路输入、8路输出)
      • 以太网 1个
      • USB 2个
      • RS232/RS485 1个
      • 通讯协议 Modbus-RTU/TCP、Socket
      • 臂长R 200mm
      • 垂直行程Z 300mm
      • 机台高度H 620mm
      • 执行端长度L 按需
      • 台面到行程下位高度h 128mm

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